Rayons X et Matière

J. Phys. IV France 10 (2000) Pr10-281-Pr10-287
DOI: 10.1051/jp4:20001031

Effets d'un chauffage thermique sur les performances de miroirs multicouches Mo/Si, Mo/C et Ni/C pour le rayonnement X mou

T. Djavanbakht^{1, 2}, V. Carrier^{3, 2}, J.-M. Andre^{1, 2}, R. Barchewitz^{1, 2} and P. Troussel<sup>3, 2

1</sup>  Laboratoire de Chimie Physique - Matière et Rayonnement, Université Pierre et Marie Curie, UMR 7614 du CNRS, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 Paris cedex 05, France
²  Laboratoire pour l'Utilisation du Rayonnement Électromagnétique (LURE), Université Paris-Sud, bâtiment 209D, 91405 Orsay, France
³  CEA-DAM/DRIF/DCRE/SDE, Centre de Bruyères-le-Châtel, BP. 12, 91680 Bruyères-le-Châtel, France

Résumé
Les effets d'un chauffage thermique continu sur les performances en terme de réflectivité de miroirs multicouches Mo/Si, Mo/C, Ni/C sont étudiés. Les mesures de réflectivité autour de 100eV sont réalisées en utilisant le rayonnement synchrotron de Super-ACO au LURE. Des variations de réflectivité en fonction de la température sont enregistrées. On observe que la période du miroir Mo/Si décroît, celui du miroir Mo/C reste constante et celle du miroir Ni/C croît quand la température augmente. Ces comportements sont discutés dans le cadre de la science des matériaux.

Abstract
The effects of continuous thermal annealing on the performances in terms of reflectivity of Mo/Si, Mo/C, Ni/C multilayer mirrors are studied. The measurements of reflectivity around 100eV are performed by using the synchrotron radiation supplied by Super-ACO at the LURE. Variations of reflectivity versus the temperature are recorded. We observe that the period of the Mo/Si mirror decreases, the one of the Mo/C mirror remains constant and the one of the Ni/C increases as the annealing temperature increases. These behaviours are discuted in the framework of material science.

© EDP Sciences 2000