Méthode de micro-inductance pour la mesure de la perméabilité de couches minces magnétiques en basse fréquence

Résumé
Le développement de composants passifs intégrés (isolateurs, circulateurs) dans le domaine des hyperfréquences et en particulier pour les télécommunications constitue un enjeu essentiel pour les années futures. La réalisation de ces composants intégrés nécessite la réalisation et la caractérisation de couches minces ferrimagnétiques de quelques m d'épaisseur. Les méthodes décrites jusqu'ici dans la littérature sont bien adaptées à la mesure de couches à perméabilité élevée. La boucle de mesure, entourant la couche magnétique avec son substrat, est sensible à la contribution des deux milieux. Nous proposons ici 02une technique de mesure inductive ne prenant en compte que les caractéristiques de la couche déposée où la boucle de mesure n'entoure que la couche. Cette technique a été validée à plus grande échelle, des mesures préliminaires ont été effectuées sur des couches minces d'hexaferrite de baryum et de grenat de fer et d'yttrium déposées par pulvérisation cathodique RF sur un substrat d'alumine. Ces mesures nous ont permis de détecter les différentes difficultés et sources d'erreurs.