| Numéro |
J. Phys. IV France
Volume 124, Mai 2005
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|---|---|---|
| Page(s) | 165 - 170 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:2005124024c | |
J. Phys. IV France 124 (2005) 165-170
DOI: 10.1051/jp4:2005124024c
Réalisation de couches minces magnétiques d'hexaferrite de baryum en vue de concevoir un isolateur coplanaire passif
S. Capraro1, C. Nader1, J.P. Chatelon1, M. Le Berre2, T. Rouiller1, B. Bayard1, H. Joisten3, D. Barbier2 and J.J. Rousseau11 DIOM, Université de Saint-Étienne, 23 rue du Docteur Paul Michelon, 42023 Saint-Étienne Cedex 2, France
2 LPM, UMR CNRS 5511, INSA de Lyon, 7 avenue Capelle, 69621 Villeurbanne Cedex, France
3 CEA LETI, 17 rue des Martyrs, 38041 Grenoble Cedex, France
Résumé
Le développement des dispositifs intégrés employant un ferrite est un objectif majeur pour des
applications électroniques dans la gamme hyperfréquence
(circulateurs et isolateurs). Les ferrites hexagonaux, tel que l'hexaferrite
de baryum (BaFe12O19 ou BaM), présentent un grand
intérêt pour de tels dispositifs en raison de leurs grandes
résistivités et de leurs perméabilités élevées aux
hautes fréquences. Dans cette étude, les couches minces de BaM, sont
déposées et optimisées par pulvérisation cathodique RF sur
des substrats d'alumine et de silicium. Après dépôt, les films
sont amorphes et un recuit thermique à 800
C est nécessaire pour
que les couches de BaM cristallisent et présentent des
propriétés magnétiques. Les propriétés magnétiques
des couches minces de BaM ont été déterminées par VSM, et on
constate que le champ coercitif et l'aimantation à saturation atteignent
respectivement 330 kA/m et 500 mT. Des isolateurs sont réalisés par
dépôt d'une couche conductrice d'or en utilisant la technique du
lift-off qui permet la mise en place du ruban signal ainsi que des plans de
masse. Les premiers résultats de mesure en transmission ont montré
un effet non réciproque qui atteint 8 dB/cm à 50 GHz.
© EDP Sciences 2005