Diffusion des rayonnements X et visibles ; microscopie en champ proche : utilisation comparée pour la caractérisation des surfaces

Abstract
Trois méthodes ont été utilisées pour caractériser la rugosité de quelques échantillons. Deux de ces méthodes sont basées sur la mesure du rayonnement diffusé (visible et X). La troisième utilise la microscopie en champ proche (MCP). Dans un premier temps, une comparaison des deux premières techniques a été menée en utilisant une même théorie vectorielle de la diffusion. Bien adaptée au domaine du visible, cette théorie peut aussi être utilisée dans le cas du rayonnement X. Les densités spectrales de puissance (dsp) de la rugosité, déterminées expérimentalement pour deux échantillons d'Alacrite XSH (alliage quaternaire à base de cobalt utilisé en métrologie des masses), montrent des allures identiques dans le cas du visible et du rayonnement X à des incidences très rasantes. Dans un deuxième temps, la hauteur quadratique moyenne , caractéristique de la rugosité de ces deux échantillons, a été déterminée de façon "directe" par microscopie en champ proche, et à partir des dsp pour les deux autres techniques. La restriction à une bande commune des fréquences spatiales accessibles à ces techniques, conduit à des valeurs de comparables aux incertitudes près. Une validation des mesures X ainsi faite, un accent est mis sur leur apport complémentaire par rapport au visible.