J. Phys. IV France 108 (2003) 33
DOI: 10.1051/jp4:20030590

Ablation laser femtoseconde pour le dépôt de DLC

A.-S. Loir¹, F. Garrelie¹, C. Donnet¹, F. Goutaland¹, M. Belin², J.-L. Subtil¹, R. Le Harzic¹, F. Rogemond¹, Y. Ouerdane¹ and P. Laporte<sup>1

1</sup>  Laboratoire Traitement du Signal et Instrumentation, UMR 5516 du CNRS, Université Jean Monnet, 23 rue du Docteur Paul Michelon, 42023 Saint-Étienne cedex 02, France
²  Laboratoire de Tribologie et Dynamique des Systèmes, UMR 5513 du CNRS, École Centrale de Lyon, 69134 Ecully cedex, France

Résumé
Des films de Diamond-Like Carbon (DLC) ont été déposés, sous vide poussé, par ablation d'une cible de graphite avec un laser Ti : saphir (durée d'impulsion 150 fs, fréquence de répétition 1 kHz, énergie par impulsion 1,5 mJ, longueur d'onde 800 nm) sur substrat standard. Les propriétés de ces couches (structure, adhérence, propriétés nanomécaniques) ont été caractérisées, en fonction des conditions d'élaboration. La caractérisation par spectroscopie Raman de la structure des dépôts obtenus a révélé la présence de diamant nanocristallin au sein d'une matrice amorphe. Le taux d'hybridation sp ³ des couches, déterminé à partir des spectres obtenus par XANES (X-ray Absorption Near Edge Speciroscopy), est voisin de 70 %. Ces différents résultats sont corrélés avec la caractérisation par imagerie résolue en temps du panache plasma créé par ablation laser femtoseconde.

© EDP Sciences 2003