| Numéro |
J. Phys. IV France
Volume 11, Numéro PR7, Octobre 2001
5e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et XApplications et développements récents |
|
|---|---|---|
| Page(s) | Pr7-25 - Pr7-26 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:2001708 | |
Applications et développements récents
J. Phys. IV France 11 (2001) Pr7-25-Pr7-26
DOI: 10.1051/jp4:2001708
Calibration de lames de phase par interférométrie à 13 nm
P. Pichon1, D. Joyeux1, D. Phalippou1, M. Singh2, J . Braat2, M . Haidl3 and U. Dinger31 Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique, BP. 147, 91403 Orsay cedex, France
2 Research Group for Optics, Department of Applied Physics, Delft University of Technology, Lorentzweg l, 2628 CJ Delft, Pays Bas
3 Carl Zeiss Strasse 4-54, 73466 Oberkochen, Allemagne
Résumé
Nous avons développé un interféromètre basé sur le bimiroir de Fresnel pour calibrer une technique de dépôt d'une couche déphasante de molybdène sur des multicouches Mo-Si. L'épaisseur nominale de la couche déphasante de Mo variait de 10 à 80 nm. Les interférogrammes projetés sur un écran fluorescent puis enregistrés par une CCD refroidie étaient traités par une technique basée sur la transformée de Fourier spatiale de l'interférogramme, pour obtenir le déphasage optique entre une zone de référence et la zone déphasée. Nous avons rnontré la pertinence de cette technique interférométrique dont l'erreur potentielle sur l'épaisseur optique des plots est estimée à λ/100. La même technique permet l'evaluation d'un profil de pente d'un front d'onde jusqu'à une fréquence spatiale de l'ordre de à 0,5-1 mm-1. Dans ce cadre, la sensibilité peut atteindre 0,4 µrad rms à 14 nm.
© EDP Sciences 2001