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| Numéro |
J. Phys. IV France
Volume 09, Numéro PR5, May 1999
4e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et XApplications et développements récents |
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|---|---|---|
| Page(s) | Pr5-145 - Pr5-146 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:1999544 | |
4e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X
Applications et développements récents
J. Phys. IV France 09 (1999) Pr5-145-Pr5-146
DOI: 10.1051/jp4:1999544
1 CNRS, Laboratoire PHASE, UPR 292, BP. 20, 67037 Strasbourg cedex 2, France
2 IPCMS-GSI, BP.20, 67037 Strasbourg cedex 2, France
© EDP Sciences 1999
Applications et développements récents
J. Phys. IV France 09 (1999) Pr5-145-Pr5-146
DOI: 10.1051/jp4:1999544
Films de nitrure de carbone obtenus par ablation laser ArF du graphite en atmosphère d'azote. Corrélation entre l'émission du plasma et la composition du dépôt
C. Fuchs1, R. Henck1, E. Fogarassy1, J. Hommet2 and F. Le Normand21 CNRS, Laboratoire PHASE, UPR 292, BP. 20, 67037 Strasbourg cedex 2, France
2 IPCMS-GSI, BP.20, 67037 Strasbourg cedex 2, France
Résumé
L'analyse spectroscopique, de 110 à 600 nm, de l'émission des plasmas créés lors de l'ablation par laser à excimères (ArF : 193 nm) de cibles de graphite en atmosphère d'azote et sous vide, et l'analyse par spectroscopie de photoélectrons (XPS) des films C1-xNx obtenus ont permis la mise en évidence d'une loi de corrélation entre la valeur de x et la pression d'azote.
© EDP Sciences 1999