Numéro
J. Phys. IV France
Volume 08, Numéro PR7, October 1998
3rd International Workshop Microwave Discharges : Fundamentals and Applications
Page(s) Pr7-99 - Pr7-108
DOI https://doi.org/10.1051/jp4:1998708
3rd International Workshop Microwave Discharges : Fundamentals and Applications

J. Phys. IV France 08 (1998) Pr7-99-Pr7-108

DOI: 10.1051/jp4:1998708

Duo-plasmaline, a surface wave sustained linearly extended discharge

E. Räuchle

Institut für Plasmaforschung der Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 31, 70569 Stuttgart, Germany


Résumé
On décrit un dispositif à plasma, le "Duo-Plasmaline". Le plasma y est produit par micro-ondes dans une chambre basse pression à l'extérieur d'un tube. Les ondes se propagent comme des ondes de surface en partie dans le tube et en partie dans le plasma. Elles sont excitées aux deux extrémités du tube et produisent un plasma homogène qui s'étend axialement le long du tube. On étudie les propriétés des ondes en résolvant numériquement l'équation d'onde. On présente des résultats expérimentaux de profils radial et axial de la densité électronique ainsi que du champ de l'onde.


Abstract
A plasma device - the Duo Plasmaline - is described where the plasma is produced by microwaves outside a tube in a low pressure chamber. The waves propagate as surface waves partially inside the tube and partially in the plasma. They are launched from both ends of the tube and produce an axially extended, homogeneous plasma. The properties of the waves are investigated by the numerical solution of the wave equation. Experimental results for the radial and axial profiles of the electron density and the wave field are given.



© EDP Sciences 1998