Fundamentals and limitations of large area planar microwave discharges using slotted waveguides

Abstract
The paper discusses basic concepts of slotted waveguide microwave plasma excitation which is technically very reasonable for the generation of long extended and large area plasmas. Results of different experiments aimed at the details of the spatial plasma structure are reported for an improved version of slotted waveguide plasma excitation which allows maximum suppression of plasma homogeneity limiting effects. They demonstrate that some residual influences of the local discreteness of coupling have to be expected in any case and that distributions of applied fields and local fields in the plasma can differ strongly.

Résumé
Ce papier discute des concepts de base de l'excitation d'un plasma à partir d'un guide d'ondes à fentes qui, techniquement, peut s'avérer très utile pour l'obtention de plasmas très longs et de grande surface. Les résultats des différentes expériences visant aux détails de la structure qui sont présentés sont ceux d'une version améliorée qui permet de réduire aux mieux les effets limitant l'homogénéité du plasma. Ces résultats démontrent l'influence résiduelle des couplages locaux discrets sur les écarts forts qu'on peut attendre entre distributions de champs appliqués et de champs locaux.