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J. Phys. IV France
Volume 08, Numéro PR5, October 1998
Rayons X et Matière
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Page(s) | Pr5-249 - Pr5-256 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:1998531 |
J. Phys. IV France 08 (1998) Pr5-249-Pr5-256
DOI: 10.1051/jp4:1998531
Influence de l'orientation cristalline sur la résistance à l'oxydation de revêtements de AIN : étude in-situ par diffractométrie X
Y. Casaux, A. Dollet, F. Sibieude and R. BerjoanCNRS-IMP, BP. 5, Odeillo, 66125 Font-Romeu cedex, France
Résumé
Des revêtements polycristallins de AIN ont été élaborés par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à partir de la réaction de AlCl3 (g) et NH3 (g). Suivant les conditions de préparation, ils se présentent soit sans orientation préférentielle, soit orientés suivant la direction <110>, <112> ou <001>. Après 2 heures de recuit dans l'oxygène à 1423K dans le cas de l'orientation <001>, la couche oxydée constituée de Al2O3(α) est d'épaisseur trop faible pour être détectée par DRX. Elle atteint rapidement une épaisseur constante égale à 1,5 et 2,2 µm pour <112> et <110> respectivement. Les revêtements non orientés ont été oxydés de la même manière et donnent une couche d'alumine qui croît suivant une loi parabolique et atteint 1,2 µm après 2h de recuit.
Abstract
Polycrystalline AIN coatings have been obtained by chemical vapor deposition (CVD) from the reaction of AlCl3 with NH3. Depending on the experimental conditions they showed either no orientation or <110>, <112>, <001> orientations. After 2 hours annealing in oxygen at 1423K, the <001> oriented coatings displayed a Al2O3(α) oxidation layer which was too thin for being detected by XRD. The oxidation layer quickly reached a constant thickness, respectively 1.5 and 2.2 µm for <112> and <110> coatings respectively. The non oriented samples were oxidized in the same conditions and gave an alumina layer which grew according to a parabolic law and reached 1.2 µm thick after 2 hours annealing.
© EDP Sciences 1998