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J. Phys. IV France
Volume 08, Numéro PR5, October 1998
Rayons X et Matière
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Page(s) | Pr5-223 - Pr5-229 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:1998528 |
J. Phys. IV France 08 (1998) Pr5-223-Pr5-229
DOI: 10.1051/jp4:1998528
Réflectométrie X de couches de cermet
B. Pardo1, F. Bridou1, C. Sella2 and J. Corno11 Institut d'Optique, URA 14 du CNRS, Centre Universitaire, BP. 147, 91403 Orsay cedex, France
2 CNRS, Groupe des Laboratoires de Bellevue, 1 place A. Briand, 92195 Meudon cedex, France
Résumé
On étudie la réflexion rasante des rayons X par un cermet en couche mince réalisé par co-évaporation de platine et d'alumine. On discute de quelques modèles d'interprétation possibles comme la diffusion par les nano agrégats sphériques, la variation de l'indice avec l'angle et le comportement similaire à celui d'un milieu homogène. On montre que cette dernière approximation est valable pour des angles de rasance assez faibles.
Abstract
The grazing angle X-ray reflection by a nanocermet of cosputtered platinium and alumine are studied. Some possible models are discussed such as the scattering by nano spherical clusters, the angle dependent index and the behaviour as an homogeneous medium. It is shown that the last approximation is valid when the grazing angle is small.
© EDP Sciences 1998