Microstructure de multicouches Au/Ni élaborées par pulvérisation ionique

Résumé
Des films multicouches [Au_47Å/Ni_31Å]₁₂ ont été élaborés par pulvérisation directe et la microstructure de ces films a été étudiée en utilisant plusieurs techniques, à savoir la diffraction des RX aux grands angles, la microscopie électronique en transmission en mode haute résolution et la technique CE-EXAFS. Une croissance correspondant à un empilement des plans denses (111) de la structure cfc des deux éléments est mise en évidence ainsi qu'une semi-cohérence dans le plan des interfaces. Cette croissance se traduit par de fortes déformations de la maille cristalline de l'or et du nickel suggérant l'existence de fortes contraintes en compression pour les couches d'or, de tension pour les couches de nickel. La technique CE-EXAFS confirme qualitativement ces traits et par ailleurs suggère l'existence d'une diffusion du nickel dans les couches d'or.