Rayons X et Matiére
100 ans déjà ...

J. Phys. IV France 06 (1996) C4-231-C4-237
DOI: 10.1051/jp4:1996421

Etude des contraintes résiduelles dans les multicouches Au/Ni

L. Barallier¹, S. Labat², O. Thomas², C. Alfonso³, A. Charaï³, B. Gilles⁴ and A. Marty<sup>4

1</sup>  MécaSurf C.E.R. E.N.S.A.M., 13617 Aix-en-Provence cedex I, France
²  MATOP, URA 1530 du CNRS, Faculté de Saint Jérôme, 13397 Marseille cedex 20, France
³  EDIFIS, URA 443 du CNRS, Faculté de Saint Jérôme, 13397 Marseille cedex 20, France
⁴  CEA/DRFMC/SP2M, Centre d'Etudes Nucléaires, 38054 Grenoble cedex 9, France

Résumé
Les matériaux multicouches font aujourd'hui l'objet d'études très complètes de caractérisation physico- chimique pour améliorer leur performance. L'étude des contraintes résiduelles générées lors de leur élaboration constitue un enjeu important dans la compréhension de leurs propriétés mais aussi dans celle des interfaces métal/métal. Cette étude a été entreprise sur une multicouche or/nickel obtenue par dépôt assisté par jet moléculaire. Les contraintes résiduelles ont été déterminées par diWm des rayons X en utilisant une analyse triaxiale des contraintes par la méthode dite des «sin²Ψ».

Abstract
Multilayer materials appears today very studied in order to increase these physimchemical chacte ristics. The determination of residual stresses that occur during the elaboration of multilayers is very important in the knowledge of these properties but also the metal/metal interfaces one. This study was made on Au/Ni multilayers obtained by molecular beam epitaxy. Residual stress wre determined by X-ray diffraction using triaxial analysis of stresses and «sin²Ψ» method.

© EDP Sciences 1996