Numéro |
J. Phys. IV France
Volume 01, Numéro C6, Décembre 1991
Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors2nd International Workshop |
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Page(s) | C6-237 - C6-238 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:1991637 |
Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors
2nd International Workshop
J. Phys. IV France 01 (1991) C6-237-C6-238
DOI: 10.1051/jp4:1991637
Laboratoire de Photoélectricité des Semiconducteurs, Case 231, Faculté des Sciences et Techniques de Marseille, F-13397 Marseille Cedex 13, France
© EDP Sciences 1991
2nd International Workshop
J. Phys. IV France 01 (1991) C6-237-C6-238
DOI: 10.1051/jp4:1991637
INFRARED LBIC SCAN MAPS APPLIED TO ALUMINIUM GETTERED MULTICRYSTALLINE SILICON WAFERS
J.Y. NATOLI, M. PASQUINELLI, F. FLORET and S. MARTINUZZILaboratoire de Photoélectricité des Semiconducteurs, Case 231, Faculté des Sciences et Techniques de Marseille, F-13397 Marseille Cedex 13, France
Without abstract
© EDP Sciences 1991
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