Self consistent modeling of surface wave sustained discharges

Abstract
Selfconsistent kinetic modeling of surface wave sustained discharges is presented for argon plasmas with particular attention to problems posed by radical and axial nonuniformity. Numerical results are discussed with view to the selfconsistency elctric field strength and electron density, the importance of collisionless heating is pointed out, as well as the expected marginal influence of ponderomotive effects. Comparisions to some experimental data available are given. The need for future improvements of the nonlocal approach used is stressed.

Résumé
La modélisation cinétique, auto-cohérente, des décharges entretenues par ondes de surface est faite dans des plasmas d'argon en tenant spécialement compte des problèmes posés par la non-homogénéité radiale et axiale. Des résultats numériques sont discutés en considérant l'auto-cohérence de l'intensité du champ électrique et de la densité des électrons. L'importance du chauffage non collisionnel est démontrée de même l'influence marginale des effets pondéromonteurs à laquelle on s'attendait. Des comparaisons sont faites avec des résultats expérimentaux. On souligne la nécessité d'améliorer l'approche non locale qui a été utilisée.