Optimisation des paramètres de dépôt de DLC par ablation laser U.V. de carbone vitreux

J.C. Orlianges; C. Champeaux; A. Catherinot; P. Blondy

doi:doi:10.1051/jp4:20030598

Accès gratuit

Numéro		J. Phys. IV France Volume 108, juin 2003


Page(s)		67 - 70
DOI		https://doi.org/10.1051/jp4:20030598

J. Phys. IV France 108 (2003) 67
DOI: 10.1051/jp4:20030598

Optimisation des paramètres de dépôt de DLC par ablation laser U.V. de carbone vitreux

J.C. Orlianges¹, C. Champeaux¹, A. Catherinot¹ and P. Blondy²

¹ Sciences des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface, SPCTS, UMR 6638 du CNRS, Faculté des Sciences et Techniques, 123 avenue Albert Thomas, 87060 Limoges cedex, France
² Institut de Recherches sur les Communications Optiques et Microondes, IRCOM, UMR 6615 du CNRS, Faculté des Sciences et Techniques, 123 avenue Albert Thomas, 87060 Limoges cedex, France

Résumé
Les couches de carbone tétraédrique réalisées par ablation laser (PLD) à forte fluence présentent des propriétés physiques particulièrement intéressantes. Toutefois, dans ces conditions, l'ablation de cibles de graphite s'accompagne de l'éjection de particules solides qui nuisent aux qualités des films. L'utilisation de cibles de carbone vitreux, dans des conditions particulières, permet d'éviter cet écueil. Nous présentons une étude du panache d'ablation par laser KrF d'une cible de carbone vitreux par imagerie résolue en temps et spectralement. les résultats sont comparés à ceux obtenus avec une cible de graphite.