Films minces ferroélectriques Ba _2/3Sr _1/3TiO ₃ par ablation laser pour applications hyperfréquences

Résumé
Les matériaux oxydes ferroélectriques semblent des candidats potentiels intéressants pour les composants d'application dans le domaine des télécommunications. Parmi les matériaux ferroélectriques, le Titanate de Baryum Strontium Ba Sr TiO ₃ a l'avantage d'avoir une température de transition qui varie suivant son taux x de substitution en baryum. Les films de Ba _2/3Sr _1/3TiO ₃ sont élaborés sur substrats monocristallins MgO par ablation laser pulsée avec un laser KrF (248 nm, durée d'impulsion 14 ns), à un taux de répétition de 10 Hz avec une fluence de 3 J/cm ² sur la surface de la cible et sous une atmosphère d'oxygène de 3.10 ^-1 mbar. Les échantillons réalisés ont été étudiés en diffraction des rayons X en configuration 0-20 afin de déterminer l'orientation des films déposés. Les échantillons sont ensuite caractérisés dans une cavité résonante en hyperfréquence (12,5 GHz) afin de déterminer leur permittivité diélectrique. L'introduction d'une sous-couche de Ba _2/3Sr _1/3TiO ₃ déficitaire en oxygène permet d'obtenir des filnis d'épaisseur micronique possédant de bonnes caractéristiques cristallines et diélectriques.