Étude théorique et expérimentale d'une source EUV par décharge capillaire

Résumé
le plasma engendré par une décharge capillaire rapide a haute tension en vue de la production de rayonnement extrême-ultraviolet (EUV) est étudié expérimentalement par imagerie sténopé résolue en temps. L'évolution temporelle du profil radial d'émission dans différentes bandes spectrales est déduite des mesures, et simulée au moyen d'un code de calcul spécifique combinant les phénomènes magnétohydrodynamiques et la physique atomique. Les résultats montrent la formation du plasma sur l'axe du capillaire, initiée par un faisceau d'électrons résultant de L'effet de cathode creuse, puis une rapide compression suivie d'une expansion radiale. La densité électronique a été estimée d'après le code à environ 4.10 ¹⁷ cm ^-3 avec un profil radial convexe.