Etude de matériaux multicouches par réflectivité X en incidence rasante. Méthode par dispersion d'énergie. Comparaison théorie-expérience

Résumé
L'étude de la structure des multicouches par réflectivité X en incidence rasante est abordée en utilisant la méthode de dispersion d'énergie. On illustre l'intérêt d'associer le caicui et la mesure de la répartition spectrale réfléchie, lorsqu'une couche est éclairée par un rayonnement X polychromatique à un angle d'incidence choisi, en étudiant in situ la réflectivité d'un dépôt Mo/Si en cours d'élaboration. Après avoir vérifié la validité des calculs effectués en utilisant les tables d'indice déduits des valeurs de Berger et Hubbell, on montre comment la connaissance simultanée des résultats calculés et mesurés permet de contrôler la qualité d'un dépôt. La méthode qui utilise une bande d'énergie comprise entre 4 et 40 keV est comparée à celle de Spiller dont le contrôle du dépôt est réalisé B l'aide de rayons X mous.

Abstract
The grazing incidence angle mdtilayer reflectivity using the Energy Dispersive Method is presented. Reflectivity calculations and measurments are used for multilayers exposed to polychromatic X-rays with a selected incidence angle; this is done for studying, in sia. reflectivity of a Mo/Si deposit during its growth thus permitting a quality control. The method using the 4-40 keV energy range is compareci to Spiller's for which the deposit is controled by soft X-rays