Journal de Physique IV

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Développement d'une source plasma-laser pour la lithographie dans l'extrême ultraviolet

G. Soullié, C. Lafon, R. Rosch, D. Babonneau, F. Garaude, S. Huelvan, T. Trublet, L. Bonnet et R. Marmoret

J. Phys. IV France, 108 (2003) 275-279

DOI: 10.1051/jp4:20030643

G. Soullié

C. Lafon

R. Rosch

D. Babonneau

F. Garaude

S. Huelvan

T. Trublet

L. Bonnet

R. Marmoret

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