Journal de Physique IV

DEPOSITION OF BORON NITRIDE BY PLASMA ENHANCED CVD USING BORANE AMINE

J.G.M. BECHT, A. BATH, E. HENGST, P.J. VAN DER PUT et J. SCHOONMAN

J. Phys. IV France, 02 C2 (1991) C2-617-C2-624

DOI: 10.1051/jp4:1991274

J.G.M. BECHT

A. BATH

E. HENGST

P.J. VAN DER PUT

J. SCHOONMAN

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