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Influence des principaux paramètres opératoires sur le dépôt de silicium à partir de silane par CVD en lit fluidisé en vue de limiter les problèmes d'agglomération
J. Rodriguez Ramiro Ruvalcaba, Brigitte Caussat, Merhdji Hemati and Jean‐Pierre Couderc The Canadian Journal of Chemical Engineering 78(5) 955 (2000) https://doi.org/10.1002/cjce.5450780513