Réflectivité non spéculaire d'une multicouche silicium-molybdène par la méthode de dispersion d'énergie des rayons X (5 - 20 keV)

Résumé
L'intensité diffusée, hors de la direction de réflexion spéculaire, est étudiée pour une multicouche périodique Mo/Si éclairée par un rayonnement blanc. La méthode employée est celle par dispersion d'énergie, aussi connue sous le nom de Energy Dispersive Method (EDM). Dans l'espace réciproque, le plan (Qx,Qz) est exploré en effectuant un balayage transversal (rocking-scan). On montre les intensités réfléchies et diffusées, dans le plan d'incidence, en fonction de l'angle d'incidence et de l'énergie des photons incidents. On décrit aussi les différentes traînées de diffusion observées.

Abstract
The intensity scattered outside the specular reflexion direction has been measured on a periodic Mo/Si multilayer illuminated by an X-ray continuous spectrum. The Energy Dispersive Method (EDM) is used to study this intensity. In the reciprocal space, the (Qx,Qz) plane is investigated through various rocking scans. We discuss the reflected and scatterd intensities, in the incidence plane as a function of the incidence angle and energy of impinging photons. The various diffused scattered streaks which are observed are also discussed.