Aspects physico-chimiques du nettoyage de surface par laser : critères de choix de la longueur d'onde

R. Oltra; J.P. Boquillon

doi:doi:10.1051/jp4:1999549

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Numéro		J. Phys. IV France Volume 09, Numéro PR5, May 1999 4^e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X Applications et développements récents


Page(s)		Pr5-161 - Pr5-165
DOI		https://doi.org/10.1051/jp4:1999549

4^e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X
Applications et développements récents

J. Phys. IV France 09 (1999) Pr5-161-Pr5-165
DOI: 10.1051/jp4:1999549

Aspects physico-chimiques du nettoyage de surface par laser : critères de choix de la longueur d'onde

R. Oltra¹ and J.P. Boquillon²

¹ Laboratoire de Recherches sur la Réactivité des Solides, UMR 5613 du CNRS, Université de Bourgogne, France
² Laboratoire de Physique, UPRES A 5027 du CNRS, Université de Bourgogne, France

Résumé
Le procédé de décapage de surface par faisceau laser impulsionnel est actuellement envisagé comme une technique de substitution à des procédés de nettoyage chimique afin de réduire les risques sur l'environnement ou à des procédés mécaniques afin de réduire dans ce cas les risques d'endommagement du substrat à nettoyer. Si les sources lasers choisies peuvent être regroupées dans le domaine des lasers impulsionnels (temps d'interaction de l'ordre de la nanoseconde), le choix de la longueur d'onde est rarement justifié à partir d'une étude physicochimique de l'interphase substrat-contaminant à expulser. Différents exemples sont présentés illustrant le besoin de développer des bases de données.