3rd International Workshop Microwave Discharges : Fundamentals and Applications

J. Phys. IV France 08 (1998) Pr7-265-Pr7-272
DOI: 10.1051/jp4:1998722

Infrared absorption analysis of organosilicon/oxygen plasmas in a microwave multipolar plasma excited by distributed electron cyclotron resonance

P. Raynaud¹, C. Marlière², D. Berthomieux², Y. Segui¹, J. Durand² and R. Burke<sup>3

1</sup>  Laboratoire de Génie Éleetrique, ESA 5003 du CNRS, Université Paul Sabatier, 118 route de Narbonne, 31062 Toulouse cedex, France
²  Laboratoire des Matériaux et Procédés Membranaires, UMR 9987, ENSCM, UM II, 8 rue de l'École Normale, 34053 Montpellier cedex 1, France
³  Laboratoire d'Électrostatique et de Matériaux Diélectriques, UMR C5517 du CNRS, Université Joseph Fourier Grenoble I, CNRS-LEMD, BP. 166, 38042 Grenoble cedex 9, France

Abstract
The dissociation of 4 groups of organosilicon monomers (such as hexamethydisiloxane, tetraethoxysilane, tetramethylsilane or tetramethoxysilane) in a MMP DECR reactor is analyzed by infrared absorption spectroscopy. The parent molecules are totally dissociated above 100 watts. The daughter stable molecules, such as C₂H₂, CH₄, CO₂, CO, C₂H₄ and OCH₂ have been detected at low power but are dissociated at higher power. Each group exhibits its very own characteristics of dissociation as well as production of new species depending on its chemical composition. It seems that the DECR plasma at high energy dissociates the monomer molecule into its constituent atoms.

Résumé
La dissociation de 4 groupes de monomères organosiliciés (tels que l'hexaméthydisiloxane, le tétraéthoxysilane, le tétraméthylsilane ou encore le tétraméthoxysilane) dans un réacteur PMM RCER est analysée par spectroscopie d'absorption infrouge. Les molécules mères sont totalement dissociées au delà de 100 watts. Des molécules stables telles que C₂H₂, CH₄, CO₂, CO, C₂H₄ et OCH₂ ont été détectées à faible puissance mais sont dissociées à plus forte énergie. Chaque groupe fait apparaitre ses propres charactéristiques au niveau de la dissociation ainsi que de la production de nouvelles espèces en fonction de sa composition chimique. Il semble que le plasma RCER dissocie les molécules en espèces atomiques.

© EDP Sciences 1998