Mass spectrometry in plasma physics

Abstract
This paper deals with the application of mass spectrometry especially for the diagnostics of anisothermal low pressure plasmas. After a brief description of known types of ion sources and mass spectrometers including energy analyzers the coupling of mass spectrometer and plasma for the investigation of neutral particles and ions is discussed. Recent results of neutral gas investigations, also of radicals, and of ion population and energy measurements are presented. The importance of data of electron impact ionization cross sections of molecules, also measured by mass spectrometry, is shown for the interpretation of the results.

Résumé
Ce travail a pour objet l'application de la spectrométrie de masses, en particulier pour l'etude des plasmas de décharge à basse pression. Après une brève description des sources usuelles de ions et des spectromètres de masses y compris l'analyse en énergie de ions, il sera débattu de la connexion du spectromètre de masses avec le plasma de décharge pour l'étude des gaz neutres et des ions. Des résultats récents en matière d'analyse des gaz neutres, des radicaux ainsi que de ions, y compris leur énergie, seront présentés. Pour l'interprétation des résultats, sera démontrée l'importance des sections efficaces d'ionisation de molécules, qui auront été en outre mesurées à l'aide de la spectrométrie de masses.