Spectroscopical diagnostics of molecular microwave plasmas

Abstract
The paper presents a review of recent results of emission (UV/visible) and absorption (visible and IR) spectroscopical investigations in molecular tube and planar microwave discharges. As a new approach by emission spectroscopy seven band systems of the hydrogen molecule have been analysed to investigate H₂ radiative characteristics and to determine the gas temperature completed by Doppler broadening measurements of H_α, D_α and H₂ spectral lines. H₂ dissociation continuum was used for an estimation of the radiative dissociation rate/degree. By absorption spectroscopy the populations of 4s ArI levels and concentrations of hydrocarbons (e.g. CH₃, C₂H₂, CH₄) were determined. In particular, investigations were focused on spatial distributions of plasma parameters.

Résumé
La publication présente un aperçu de nouveaux résultats de mesures de spectroscopie démission (UV/visible) et d'absorption (visible et Infrarouge) dans des décharges microondes moléculaires dans des tubes et en structure plane. La nouveauté consiste en l'analyse de l'émission de système à sept bandes de la molécule d'hydrogène. On étudie ainsi les caractéristiques radiatives de H₂ et on détermine la température du gaz par des mesures d'élargissement Doppler des lignes spectrales de H_α, D_α et H₂. Le continuum de dissociation de H₂ est utilisé pour estimer le degré de dissociation radiative. Les populations des niveaux 4s de l'Ar I et les concentrations des hydrocarbures (par exemple CH₃, C₂H₂, CH₄) sont déterminés par spectroscopie d'absorption. En particulier on s'est intéressé à la distribution spatiale des paramètres du plasma.