L'impact d'électrons lents sur les surfaces de matériaux diélectriques : méthodes d'analyse et applications industrielles

Résumé
Les électrons de basse énergie (0-30 eV) sont impliqués en tant que source d'excitation primaire ou en tant que produits secondaires dans un grand nombre de processus industriels et de techniques d'analyse des matériaux. Leurs interactions près de la surface de solides diélectriques peut être étudiée en utilisant des faisceaux d'électrons de faible énergie à haute résolution. Les principales expériences permettant d'étudier ces interactions sont brièvement décrites dans cet article. Des exemples de résultats obtenus avec ces dernières sont inclus afin d'illustrer les mécanismes de base et de fournir une description des processus fondamentaux de dégradation impliqués durant l'irradiation. L'importance de ces mécanismes pour la dosimétrie, le vieillissement électronique des câbles à haute tension et la nanolithographie est expliquée brièvement.

Abstract
Low energy electrons (0-30 eV) are involved in a large number of industrial processes and of analytical techniques for material analysis either as secondary particles or as the primary excitation source. The interaction of these electrons near the surface of dielectric solids can be investigated with highresolution low-energy electron-beam techniques. The major types of experiments are briefly described in this article and examples of the results obtained from them are given to illustrate the basic mechanisms which control the electron-solid interactions and to provide a description of the basic degradation processes involved during irradiation. The importance of these mechanisms for dosimetry, electronic aging of high-voltage cables and nanolithography is briefly explained.