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J. Phys. IV France
Volume 06, Numéro C7, Novembre 1996
39éme Colloque de Métallurgie de l'INSTNMULTICOUCHES METALLIQUES |
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Page(s) | C7-13 - C7-18 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:1996702 |
MULTICOUCHES METALLIQUES
J. Phys. IV France 06 (1996) C7-13-C7-18
DOI: 10.1051/jp4:1996702
Electrodéposition de multicouches magnétiques Cu/M (M = Métal de transition ou alliage)
E. Chassaing, P. Nallet and M.F. TrichetCentre d'Études de Chimie Métallurgique, CNRS, 15 rue G. Urbain, 94407 Vitry-sur-Seine, France
Résumé
Nous avons développé une technique d'électrodéposition de multicouches par potentiel pulsé, piloté par ordinateur. L'électrolyte contient des sels des métaux de transition en concentrations importantes et le sel de cuivre en très faible quantité. Le potentiel est alternativement pulsé au potentiel de dépôt du cuivre et à celui du métal de transition. Les durées des différentes impulsions sont ajustées de manière à contrôler les quantités d'électricité utilisées et, par suite, les épaisseurs individuelles des couches. Des multicouches Cu/Co et Cu/Fe20Ni80 (Permalloy) ont été réalisées sur substrats de cuivre, de silicium ou de verre, d'épaisseurs individuelles variant de 0,5 nm 30 nm. La régularité et la cohérence entre les couches sont contrôlées par diffraction des rayons X en incidence rasante et microscopie électronique en transmission. Le rapport de magnétorésistance est mesuré.
© EDP Sciences 1996