| Numéro |
J. Phys. IV France
Volume 03, Numéro C7, Novembre 1993
The 3rd European Conference on Advanced Materials and ProcessesTroisiéme Conférence Européenne sur les Matériaux et les Procédés Avancés |
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| Page(s) | C7-1211 - C7-1216 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:19937186 | |
The 3rd European Conference on Advanced Materials and Processes
Troisiéme Conférence Européenne sur les Matériaux et les Procédés Avancés
J. Phys. IV France 03 (1993) C7-1211-C7-1216
DOI: 10.1051/jp4:19937186
Institut für Werkstoffkunde (IWKB), Aachen University of Technology, Templergraben 55, 5100 Aachen, Germany
© EDP Sciences 1993
Troisiéme Conférence Européenne sur les Matériaux et les Procédés Avancés
J. Phys. IV France 03 (1993) C7-1211-C7-1216
DOI: 10.1051/jp4:19937186
Computer investigations of the influences of magnets for magnetron-sputtering
O. KNOTEK, F. LÖFFLER, U. SCHNAUT and W. GUANInstitut für Werkstoffkunde (IWKB), Aachen University of Technology, Templergraben 55, 5100 Aachen, Germany
Without abstract
© EDP Sciences 1993
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