Études par diffraction haute résolution et réflectivité de films minces épitaxiés

Abstract
The studies we present concern the general researches involved in order to understand the growth mechanisms of thin films deposited on oriented substrates. Among the different investigation technics of the thin layers, X-ray diffraction and reflectivity will be discussed through two applications. In a first step, thediffraction presented, illustrated by reciprocal space mapping, will give information about the layer state of stress and the lattice distorsion of La _1-xSr _xMnO ₃ deposited on SrTiO ₃. The results obtained are discussed and compared to those given by electron microscopy. In a second step, we will present an application of reflectivity concerning a very roughness surface of platinum deposited on MgO showing an island growth process. We will verify that reflectivity can lead to the determination of the recovered rate of the surface, even if some problems exist in the simulation of the whole data set. Results obtained in electron microscopy will complete those issued from reflectivity.

Résumé
Les études que nous allons présenter sont à replacer dans le contexte général de la compréhension des mécanismes de croissance des films minces déposés sur des substrats orientés. Parmi les diverses techniques d'investigations des couches minces, la diffraction et la réflectivité des rayons X vont être abordées à travers deux applications. Nous verrons tout d'abord que la diffraction, illustrée par la cartographie en deux dimension du réseau réciproque, permet de remonter à l'état de contrainte ainsi qu'à la déformation de la maille de La _1-xSr _xMnO ₃ déposé sur SrTiO ₃. Les résultats déduits de ces mesures seront discutés et comparés à ceux obtenus en microscopie électronique. Dans la suite de l'article, nous verrons une des applications de la réflectivité, sur une surface très perturbée de platine déposé sur MgO et présentant une croissance en îlots. Nous verrons que la réflectivité permet d'estimer le taux de recouvrement de la surface, mais que des problèmes persistent dans la simulation de l'intégralité des données expérimentales. Les résultats obtenus en MET viendront compléter ceux issus de la réflectivité.