J. Phys. IV France 12 (2002) Pr2-111
DOI: 10.1051/jp420020018

Propriétés structurales et électrochimiques de couches minces de V ₂O ₅ élaborées par dépôt chimique de couches atomiques en phase vapeur (ALCVD)

A. Mantoux¹, J.-C. Badot², N. Baffier², J. Farcy³, J.-P. Pereira-Ramos³, D. Lincot⁴ and H. Groult<sup>1

1</sup>  Laboratoire Liquides Ioniques et Interfaces Chargées, LI2C, UMR 7612, 4 place Jussieu, boîte 51, 75252 Paris cedex 05, France
²  Laboratoire de Chimie Appliquée à l'État Solide, LCAES, UMR 7574, ENSCP, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 Paris cedex 05, France
³  Laboratoire d'Électrochimie, Catalyse et Synthèse Organique, LECSO, UMR 7582 du CNRS, 2 rue Henri Dunant, BP. 28, 94320 Thiais, France
⁴  Laboratoire d'Électrochimie et Chimie Analytique, LECA, UMR 7575, ENSCP, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 Paris cedex 05, France

Résumé
Les couches minces de V ₂O ₅ ont été élaborées par dépôt chimique de couches atomiques en phase vapeur (ALCVD). La diffraction des rayons X a mis en évidence le phénomène d'orientation préférentielle selon l'axe cristallographique c de V ₂O ₅ déposé sur le substrat titane. La microscopie électronique à transmission a permis de visualiser un grain de V ₂O ₅ ainsi que l'interface avec le substrat. La spectroscopie de photoélectrons induits par rayons X a permis de montrer que les couches directement issues de la synthèse par ALCVD (sans recuit ultérieur) sont partiellement réduites, de l'ordre de 10 % de V ⁴⁺ en surface. Les mesures électrochimiques ont montré que les couches minces de V ₂O ₅, obtenues sur le support titane, étaient de très bonne qualité en terme de réversibilité, de cyclabilité et de bilan faradique (0,92 F/mol pour un potentiel d'arrêt de 3 volts et 1,6 F/mol pour un potentiel d'arrêt de 2,2 volts vs Li/Li ⁺).

© EDP Sciences 2002