Détermination par diffraction des rayons X de la texture et des contraintes dans des revêtements de chrome dopé au carbone réalisés par pulvérisation cathodique magnétron

Résumé
Les revêtements de chrome-carbone réalisés par PVD présentent de fortes textures de fibre plus ou moins parfaites dont l'orientation majoritaire dépend des conditions de croissance, en particulier la tension de bias. La forte texture de ces revêtements ne permet pas une analyse des contraintes intrinsèques par la méthode des sin²Ψ. Deux méthodes ont alors été utilisées et comparées ; la méthode des directions idéales et la méthode 'monocristalline'. L'utilisation de ces différentes techniques RX a permis de cerner l'influence des paramètres de croissance. Ainsi le décentrement des textures de fibre par rapport au centre de la figure de pôles a été relié à morphologie colonnaire du revêtement ainsi qu'à la position du substrat vis à vis du système cible - magnétron. L'analyse des contraintes a permis de montrer leur évolution en fonction de deux paramètres de croissance, la tension de polarisation du substrat et la puissance cible.

Abstract
Vapor deposited chromium doped carbon thin films are highly fiber textured and their major orientation depends on the growth parameters and in particular, on the substrate bias voltage. The strong texture does not allow to apply the well known sin²Ψ - method stress determination technique using X-ray. Two methods will be used and compared : the Ideal Directions Method and the Single Crystal Stress Analysis. The growth parameters effect will be studied with different X-ray techniques. The fiber texture presents an inclination in connection with the columnar morphology and the substrate position according to the long target axis. The growth parameters such as the substrate bias voltage and the target power have a strong influence on the residual stress distribution.