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J. Phys. IV France
Volume 06, Number C7, Novembre 1996
39éme Colloque de Métallurgie de l'INSTNMULTICOUCHES METALLIQUES |
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|---|---|---|
| Page(s) | C7-3 - C7-11 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:1996701 | |
39éme Colloque de Métallurgie de l'INSTN
MULTICOUCHES METALLIQUES
J. Phys. IV France 06 (1996) C7-3-C7-11
DOI: 10.1051/jp4:1996701
1 CENG, Département de Recherche Fondamentale sur la Matière Condensée, SPMM/NM, 38054 Grenoble cedex 09, France
2 Laboratoire de Physique du Solide, Université H. Poincaré Nancy 1, BP. 239, 54506 Vandoeuvre-les-Nancy cedex, France
© EDP Sciences 1996
MULTICOUCHES METALLIQUES
J. Phys. IV France 06 (1996) C7-3-C7-11
DOI: 10.1051/jp4:1996701
Croissance et structure des couches minces
A. Marty1 and S. Andrieu21 CENG, Département de Recherche Fondamentale sur la Matière Condensée, SPMM/NM, 38054 Grenoble cedex 09, France
2 Laboratoire de Physique du Solide, Université H. Poincaré Nancy 1, BP. 239, 54506 Vandoeuvre-les-Nancy cedex, France
Résumé
Nous présentons dans ce papier sans prétendre être exhaustifs tant le thème est vaste, quelques techniques d'obtention des couches minces les plus utilisées dans les laboratoires de recherche, les grands types et processus de croissance notamment pour les couches minces obtenues par évaporation sous vide, l'épitaxie et quelques mécanismes de relaxation des contraintes.
© EDP Sciences 1996