Microscopie X par réflexion totale et diffraction de Kossel à incidence rasante : premiers résultats

Résumé
Un microscope électronique à balayage a été converti en microscope X par l'adjonction, entre autres, d'une caméra CCD qui permet d'acquérir rapidement des microradiographies X par projection ainsi que des diagrammes de Kossel par transmission. En modifiant ensuite les positions relatives de la source X et de l'objet par rapport à la caméra CCD, nous montrons qu'il est possible d'obtenir successivement des diagrammes de diffraction par réflexion et des images topographiques agrandies de la surface par réfiexion totale.

Abstract
A scanning electron microscope has been modified by the addition of a CCD camera in order to acquire rapidly either projection X-ray microradiographies or transmission Kossel diffraction patterns. By changing the relative position of the X-ray source and of the specimen with respect to the CCD camera, we show that it is also possible to obtain successively reflection diiraction patterns and also magnified topographie images of the surface by X-ray total reflection.