Journal de Physique IV

Powder Dissipation in PECVD for SiH₄-CH₄-H₂ Gas Mixtures

P. Rava, G. Crovini, F. Demichelis, F. Giorgis, R. Galloni, R. Rizzoli et C. Summonte

J. Phys. IV France, 05 C5 (1995) C5-1125-C5-1132

DOI: 10.1051/jphyscol:19955133

P. Rava

G. Crovini

F. Demichelis

F. Giorgis

R. Galloni

R. Rizzoli

C. Summonte

articles ayant parmi leurs auteurs TOUS les auteurs sélectionnés (ET)

articles ayant parmi leurs auteurs AU MOINS un auteur identique à ceux sélectionnés (OU)