Journal de Physique IV

New volatile heterocyclic metal diketonates for MOCVD

A. Drozdov, S. Troyanov, O. Fedorchenko, G. Battiston, C. Pettinari, F. Marchetti et A. Cingolani

J. Phys. IV France, 09 PR8 (1999) Pr8-929-Pr8-934

DOI: 10.1051/jp4:19998117

A. Drozdov

S. Troyanov

O. Fedorchenko

G. Battiston

C. Pettinari

F. Marchetti

A. Cingolani

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