Journal de Physique IV

Modeling the transitions from capacitive to inductive to wave-sustained rf discharges

M.A. Lieberman et R.W. Boswell

J. Phys. IV France, 08 PR7 (1998) Pr7-145-Pr7-164

DOI: 10.1051/jp4:1998712

M.A. Lieberman

R.W. Boswell

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