Journal de Physique IV

Applications of Infrared Absorption Spectroscopy to the Microelectronic Industry

Y.J. Chabal, M.K. Weldon et V.E. Marsico

J. Phys. IV France, 07 C6 (1997) C6-3-C6-17

DOI: 10.1051/jp4:1997601

Y.J. Chabal

M.K. Weldon

V.E. Marsico

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