Journal de Physique IV

CONTROL OF GERMANIUM ATOMIC LAYER FORMATION ON SILICON USING FLASH HEATING IN GERMANIUM CVD

J. MUROTA, M. SAKURABA, N. MIKOSHIBA et S. ONO

J. Phys. IV France, 02 C2 (1991) C2-803-C2-808

DOI: 10.1051/jp4:1991294

J. MUROTA

M. SAKURABA

N. MIKOSHIBA

S. ONO

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