Journal de Physique IV

PLASMA ASSISTED CVD USING METALLO-ORGANIC COMPOUNDS AS PRECURSORS

K.-T. RIE, J. WÖHLE et A. GEBAUER

J. Phys. IV France, 02 C2 (1991) C2-397-C2-404

DOI: 10.1051/jp4:1991248

K.-T. RIE

J. WÖHLE

A. GEBAUER

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