Caractérisation structurale et contraintes résiduelles de films d'AIN par diffraction des rayons X C. Meneau, Ph. Goudeau, P. Andreazza, C. Andreazza-Vignolle et J. C. PommierJ. Phys. IV France, 08 PR5 (1998) Pr5-153-Pr5-161DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1998520
