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J. Phys. IV France
Volume 08, Numéro PR5, October 1998
Rayons X et Matière
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| Page(s) | Pr5-153 - Pr5-161 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:1998520 | |
J. Phys. IV France 08 (1998) Pr5-153-Pr5-161
DOI: 10.1051/jp4:1998520
Caractérisation structurale et contraintes résiduelles de films d'AIN par diffraction des rayons X
C. Meneau1, Ph. Goudeau2, P. Andreazza1, C. Andreazza-Vignolle1 and J.C. Pommier31 Centre de Recherche sur la Matière Divisée, Université d'Orléans-CNRS, rue de Chartres, BP. 6759, 45067 Orléans cedex 2, France
2 Laboratoire de Métallurgie Physique, Université de Poitiers-CNRS, SP2MI, boulevard 3, Téléport 2, BP. 179, 86960 Futuroscope cedex, France
3 Laboratoire de Traitement du Signal et Instrumentation, Université de Saint-Étienne, 23 rue du Docteur Paul Michelon, 42023 Saint-Étienne cedex 2, France
Résumé
L'état mécanique des couches minces influence considérablement leurs propriétés macroscopiques et notamment leur comportement tribologique. Ainsi, outre les caractéristiques structurales, la détermination des microdéformations et des contraintes résiduelles apparaît comme essentielle. Cette étude porte donc sur la caractérisation par diffraction des rayons X de l'état microstructural et mécanique de couches de nitrure d'aluminium élaborées par deux types de procédé : la nitruration d'aluminium par plasma induit par laser et le dépôt par pulvérisation cathodique. Les résultats montrent l'absence d'orientation préférentielle et de contraintes résiduelles dans les couches d'AIN laser-plasma, alors que les dépôts présentent une direction de croissance privilégiée et de fortes contraintes d'origine thermique.
Abstract
The mechanical state in thin films considerably influences their macroscopic properties, especially their tribological behaviour. It is the reason why microstrains and residual stresses determination is very important. This paper deals with the characterization by X-ray diffraction of the microstructural and mechanical state of aluminum nitride layers elaborated by two kinds of processing : laser induced plasma aluminum nitriding and magnetron sputtering deposition. Results show no preferential orientation and residual stresses in laser-plasma AIN films while deposits offer preferential growth direction and high stresses from thermal ones.
© EDP Sciences 1998