| Numéro |
J. Phys. IV France
Volume 135, October 2006
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|---|---|---|
| Page(s) | 339 - 341 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:2006135112 | |
| Publié en ligne | 23 novembre 2006 | |
Neuvième colloque sur les lasers et l'optique quantique
C. Chardonnet et G. Millot
J. Phys. IV France 135 (2006) 339-341
DOI: 10.1051/jp4:2006135112
1 Équipe Lasers Femtosecondes, Developpement Optiques GOLF - CELIA
2 Équipe Caractérisation Optique de Composants et Systèmes Électroniques COX - CPMOH CELIA, Université de Bordeaux 1, 351 cours de la Libération, 33405 Talence, France
e-mail: abbadi@celia.u-bordeaux1.fr
(Publié en ligne 23 novembre 2006)
© EDP Sciences 2006
C. Chardonnet et G. Millot
J. Phys. IV France 135 (2006) 339-341
DOI: 10.1051/jp4:2006135112
Développement d'une méthode originale d'imagerie haute résolution en temps réel à travers un milieu absorbant : application aux circuits microélectroniques
I. Abbadi1, S. Dilhaire2, F. Salin1 and W. Claeys21 Équipe Lasers Femtosecondes, Developpement Optiques GOLF - CELIA
2 Équipe Caractérisation Optique de Composants et Systèmes Électroniques COX - CPMOH CELIA, Université de Bordeaux 1, 351 cours de la Libération, 33405 Talence, France
e-mail: abbadi@celia.u-bordeaux1.fr
(Publié en ligne 23 novembre 2006)
Résumé
Nous proposons l'étude d'une méthode originale de formation
d'image au travers des milieux diffusants ou fortement absorbants.
Une mire de résolution est placée derrière un wafer de
silicium de 
m d'épaisseur. Nous avons cherché
à développer des outils optiques performants qui permettent
une observation en profondeur et l'obtention d'images
bidimensionnelles tomographiques. D'autres images de la partie
active d'un circuit microélectronique en fonctionnement à
travers le substrat de silicium ont été réalisées.
Les images obtenues, ont une résolution spatiale latérale
d'environ 
m à travers un wafer de m
d'épaisseur.
© EDP Sciences 2006