J. Phys. IV France 108 (2003) 45
DOI: 10.1051/jp4:20030593

Ablation d'un film d'or par laser à excimère

M. Sentis¹, J. Hermann¹, A. Pereira¹, Ph. Delaporte¹, W. Marine², J. Perrière³, L. Bianchi⁴ and R. Galli<sup>5

1</sup>  LP3, FRE 2165 du CNRS, Faculté des Sciences de Luminy, Case 917, 13288 Marseille cedex 9, France
²  Groupe de Physique des États Condensés (GPEC), UMR 6631 du CNRS, Université de la Méditerranée, France
³  Groupe de Physique des Solides, UMR 7588 du CNRS, Université Paris VI, France
⁴  Commissariat à l'Énergie Atomique/LR, BP. 16, 37260 Monts, France
⁵  Commissariat à I'Énergie Atomique/DIF, BP. 12, 91680 Bruyères-le-Châtel, France

Résumé
Ces travaux de recherche ont été réalisés dans le cadre du projet de développement du Laser MégaJoule (LMJ). Parmi les expériences d'interaction laser - matière à très haut flux, certaines conduiront à un dépôt de particules d'or sur les éléments internes de la chambre d'interaction. Pour nettoyer ce dépôt de particules, la possibilité d'utiliser un procédé automatisé basé sur l'ablation laser a été étudiée. Un modèle numérique simplifié a été développé et une étude expérimentale réalisée sur des échantillons d'acier inoxydable ou de B ₄C recouverts d'un film d'or d'une épaisseur de ~20 nm déposés par PVD. Ces travaux montrent que plus de 95 % du film d'or peuvent être enlevés avec quelques tirs d'un laser XeCI dès que la densité d'énergie dépasse 3 J/cm ².

© EDP Sciences 2003