Cartographie du réseau réciproque sur couches d'oxydes épitaxiées à l'aide d'un montage équipé d'un détecteur courbe à localisation

Abstract
two-dimensional distributions of intensity diffracted by epitaxial layers have been measured using a setup associating a four reflections monochromator and a curved position sensitive detector. Microstructural parameters of oxide thin films elaborated by sol-gel route were evaluated by profile modeling of different sections of reciprocal space maps of several reflections.

Résumé
L'utilisation d'un montage associant un monochromateur à quatre réflexions et un détecteur courbe à localisation nous a permis de réaliser, avec des durées d'acquisition raisonnables, des mesures complètes de la distribution bidimensionnelle de l'intensité diffractée par des couches épitaxiées. Nous avons évalué de façon quantitative les caractéristiques microstructurales de couches d'oxyde élaborées par voie chimique en modélisant, à partir des paramètres physiques caractérisant les couches étudiées, différentes projections ou sections de ces cartographies du réseau réciproque.