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Numéro |
J. Phys. IV France
Volume 11, Numéro PR7, Octobre 2001
5e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et XApplications et développements récents |
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Page(s) | Pr7-187 - Pr7-188 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:2001757 |
5e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X
Applications et développements récents
J. Phys. IV France 11 (2001) Pr7-187-Pr7-188
DOI: 10.1051/jp4:2001757
GREMI, UMR 6606 du CNRS, BP. 6744, 45067 Orléans cedex 2, France
© EDP Sciences 2001
Applications et développements récents
J. Phys. IV France 11 (2001) Pr7-187-Pr7-188
DOI: 10.1051/jp4:2001757
Étude du rayonnement U.V. du radical SiO appliqué à des mesures d'absorption auto-accordée
F. Coursimault, O. Motret and J.-M. PouvesleGREMI, UMR 6606 du CNRS, BP. 6744, 45067 Orléans cedex 2, France
Résumé
Cette étude s'inscrit dans le cadre de la mise au point d'une technique de mesure de densité absolue de la molécule SiO, cette dernière intervenant dans la physico-chimie des traitements de film polymère par plasma. Le diagnostic développé est basé sur l'absorption d'un rayonnement U.V. produit par la même molécule que celle à sonder. Nous présentons ici les résultats concernant la mise au point de la source U.V. permettant de produire la fluorescence de SiO. Plusieurs bandes vibrationnelles ainsi que la structure rotationnelle de la transition A-X ont pu être étudiées dans différents gaz porteurs.
© EDP Sciences 2001