Microperçage de polymères par laser à excimères

J. Lopez; S. Lazare

doi:doi:10.1051/jp4:1999547

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Numéro		J. Phys. IV France Volume 09, Numéro PR5, May 1999 4^e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X Applications et développements récents


Page(s)		Pr5-153 - Pr5-156
DOI		https://doi.org/10.1051/jp4:1999547

4^e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X
Applications et développements récents

J. Phys. IV France 09 (1999) Pr5-153-Pr5-156
DOI: 10.1051/jp4:1999547

Microperçage de polymères par laser à excimères

J. Lopez and S. Lazare

Laboratoire de Physico-Chimie Moléculaire, UMR 5803 du CNRS, Université de Bordeaux I, 351 cours de la Libération, 33405 Talence, France

Résumé
Le microperçage par laser UV nécessite un faisceau intense et de faible ouverture. Il n'introduit pas de détérioration thermique ou mécanique de la cible. Dans certaines conditions, il est possible d'obtenir des trous filiformes, reproductibles et à hauts rapports de forme (Φ/d≈600) sur de nombreux matériaux. De manière générale, plus un polymère est absorbant à 248 nm, meilleure est la résolution et plus il est facile d'obtenir des trous profonds, mais plus la vitesse de perçage est faible. Ces résultats prometteurs laissent entrevoir un large champ d'applications dans le domaine du micro-usinage.