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J. Phys. IV France
Volume 06, Numéro C4, Juillet 1996
Rayons X et Matiére100 ans déjà ... |
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Page(s) | C4-307 - C4-317 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jp4:1996429 |
100 ans déjà ...
J. Phys. IV France 06 (1996) C4-307-C4-317
DOI: 10.1051/jp4:1996429
Optimisation de la mesure de figures de pôles en diffraction X
F. Wagner1, M. Stosse1 and C. Nauer-Gerhardt21 CMS/ISGMP, Université de Metz, Ile du Saulcy, 57045 Metz cedex, France
2 SIEMENS AG, AUT 37 PM, P.O. Box 21 1262, 76187 Karlsruhe, Gemany
Résumé
Les conditions optimales de mesure de figures de pôles ont été recherchées en
utilisant différentes variantes de montage (utilisation d'un monochromateur, détecteur en
énergie dispersive, incidence réduite) et en analysant divers matériaux (alliage de cuivre, acier
bas carbone, couches minces de TiN). La qualité des données mesurées dans chaque cas est
estimée à partir des coefficients de compatibilité calculés.
Abstract
The best conditions for measuring pole figures have been sought by using several
kinds of difraction arrangement (use of a monochromator, energy dispersive detector, reduced
incidence) and by analysing several materials (copper alloy, low carbon steel, TiN thin films).
The quality of the measured data is estimated from the compatibility coefficients which are
calculated in each case.
© EDP Sciences 1996