InP-based micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS)

Numéro		J. Phys. IV France Volume 09, Numéro PR2, February 1999 6^èmes Journées Nationales de Microélectronique et Optoélectronique III-V (JNMO'97)


Page		Pr2-123
DOI		https://doi.org/10.1051/jp4:1999213

6^èmes Journées Nationales de Microélectronique et Optoélectronique III-V (JNMO'97)

J. Phys. IV France 09 (1999) Pr2-123
DOI: 10.1051/jp4:1999213

J.L. Leclercq, C. Seassal and P. Viktorovitch

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